真空乾燥炉
真空チャンバー
部品加工
EMS事業
外観検査装置
蒸気2流体洗浄装置
電解液リーク検査装置
クリーンルーム
加工機械設備
蒸気2流体洗浄装置
半導体への利用にも耐えるクリーンな洗浄
多彩な用途
太陽電池基盤・ガラス基板の洗浄、LEDの金膜剥離等
消耗品不使用
ランニングコストを大幅削減
環境負荷低減
「純水」のみを使用。化学薬品の使用も大幅減
洗浄例
エッチング残渣
皮膚表面のアイシャドー
コア技術
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装置例
LED用洗浄装置
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半導体用洗浄装置
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太陽電池用洗浄装置
仕様
蒸気発生量※
2 - 100 kg/h
用力
DIW,N2,CDA,200VAC 又は 100VAC
蒸気圧力制御範囲
0.05 - 0.3 MPa
超音速蒸気噴射ノズル
洗浄機本体との通信
※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意いたします。
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