FPD製造装置関係
周辺露光装置
液晶パネルの製造工程において、ガラス基板上の不要なフォトレジストを除去するために露光することを目的とした装置です。
レーザータイトラ装置
対象となる製品や、目的によって製品管理用のＩＤ情報を2次元コードやOCR文字としてガラス基板にマーキングする装置です。
真空乾燥装置
液晶パネルの製造工程において、塗布装置でガラス基板上に塗布されたレジストを即座に真空乾燥する装置です。
レジスト塗布装置
ガラス基板にレジストを塗布する装置です。
半導体製造装置関係
真空プロセス装置(プラズマ使用）
自社開発のプラズマソースを搭載した半導体製造プロセス装置です。エッチング装置，アッシング装置など。
ポリシング装置（バックグラインダ)
薄型ウェハ製造における裏面研磨を行う装置です。
二次電池製造装置関係
真空加熱乾燥炉
金属コンタミ対策を施し、処理レシピ設定により、真空・加熱・冷却工程を自在に制御できる乾燥炉です。
太陽電池製造装置関係
ロールtoロール装置
レーザースクライブ装置
レーザーを使用して太陽電池基材の薄膜をパターニングする装置です。
スリッター装置
ロール状になったフィルムや紙等の長尺巻物を、巻き出し側から巻き取り側に送り出す際、任意の幅で連続的にカットし、巻き取る装置です。
自社製品開発/設計のみならず、お客様の仕様書に基づいた設計協力も行なっております。
ドライルーム
水分測定機
電量法水分計
気化装置
天秤
